靶材尺寸为:
矩(ju)形靶材(cai):L800mm×W200mm×H 客户(hu)自选厚度。(为国际上同类(lei)产品最大尺寸(cun))
圆形靶材:Ф460mm×H 客户(hu)自选(xuan)厚度(为(wei)国际同类产品最(zui)大尺寸)
密(mi)度 ≥ 99.9%TD,
纯(chun)度(du) ≥ 99.995%
以上三个指(zhi)标都为国(guo)内产(chan)品最(zui)高水平(ping),国(guo)际先(xian)进水平(ping)